¿­±â Æйи®»çÀÌÆ®

[5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT, ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­(±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô) µè°í »ï¼º °¡Áî¾Æ.

| Á¶È¸ 4287 |


4ÀÏÂ÷ ºÎÅÍ ÀüÀÚ, Àü±â, Àç·á Àü°øÀÇ ¸éÁ¢°ü·Ã °­ÀÇÀÎ ±èµ¿¹Î ¼±»ý´ÔÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °­ÀǸ¦ ¼ö°­Çϸ鼭 ±â°è°úÀÎ Àú´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ °øÁ¤ °ü·Ã ÀÌ·Ð ¿Ü¿¡´Â óÀ½À̾ú½À´Ï´Ù. ±×·¸±â ¶§¹®¿¡ ÀÌÇØÇϴµ¥ À־ ½Ã°£ÀÌ ´õ °É·ÈÀ¸¸ç, ¼±»ý´Ô²²¼­ ¸»¾¸ÇϽô ´ëºÎºÐÀ» ¿Å°Ü ÀûÀ¸¸ç °­ÀÇ¿¡ Âü¿©ÇÏ¿© ½Ã°£À» Á¶±Ý ´õ ½è½À´Ï´Ù. ¿À´Ãµµ ¸¶Âù°¡Áö·Î ¼¼ºÎÀûÀÎ ºÎºÐ¿¡ ´ëÇؼ­ ÁøÇàÇÏ´Ù º¸´Ï ªÀº ½Ã°£µ¿¾È »ý¼ÒÇÑ ¿ë¾îµéÀ» ÀÌÇØÇÏ´Â °Í ºÎÅÍ °úÁ¤µéÀ» ÀÌÇØÇØ¾ß Çß½À´Ï´Ù. ±×·¯ÇÏ¿© óÀ½ °úÁ¤À» ĸÃÄÇÏ°Ô µÇ¾úÀ¸¸ç, ´õ ¸¹Àº Áö½ÄÀÌ µÞ¹Þħ µÇ¾î¾ß ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í »ý°¢Çß½À´Ï´Ù. ±×·¡¼­ ±×·¯ÇÑ ¼ö¾÷³»¿ëÀ» Àû°Ú½À´Ï´Ù.

HKMG(High-k Metal Gate)ÀÇ µµÀÔ ¹è°æÀº °øÁ¤ ¹Ì¼¼È­¿¡ µû¶ó OxideÀÇ µÎ²²°¡ °¨¼ÒÇß°í OxideÀÇ Capacitance°¡ À¯Áö( C=A/d) ±×¸®°í OxideÀÇ µÎ²²°¡ °¨¼ÒÇÏ¿© Tunneling, Leakage current µÇ¾ú´Ù. ÈÄ µÎ²², Capacitance¸¦ ¸¸Á·ÇÏ´Â »õ·Î¿î ¹°ÁúÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÏ¿© HKMG°¡ °³¹ßµÇ¾ú´Ù. ÀÌ ¹°ÁúÀÇ Á¶°ÇÀº ¿­Àû ¾ÈÁ¤¼º Áï, Si¿Í °í¿Â¿¡¼­ ¹ÝÀÀÇÏ¸é ¾ÈµÆ°í, High band gap energy, ÀüÇÏ¿¡ µû¸¥ ¼º´É ÀúÇÏ°¡ À¯¹ß °¡´ÉÇÑ ÀûÀº °áÇÔÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ±×·¡¼­ High-k ¹°ÁúÀº Hfo2, Zro2°¡ ÀÖ´Ù.

ÀÌ¿Í °°Àº À̷еéÀ» ¹Ýº¹ ÇнÀÇÏ¿© ´ÙÀ½ÁÖ °­Àǵµ ºÎÁ·ÇÔ ¾øÀÌ Âü¿©ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.

GSAT Ã߸® ¿µ¿ªÀÇ µÎ¹ø° °­ÀǸ¦ µè°í Àü¹ÝÀûÀÎ ±âÃʸ¦ ´ÙÁú ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. µ¶ÇÐÀ¸·Î´Â ºÒ°¡´ÉÇÑ ºÎºÐµéÀ» Áý¾îÁֽø鼭 ÀڽۨÀ» °¡Áú ¼ö ÀÖ°ÔµÈ ½Ã°£À̾ú°í Àç¹Ì¸¦ ÁÖ¾ú½À´Ï´Ù!

´ÙÀ½ÁÖµµ ¿­½ÉÈ÷ Âü¿©ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.


¡Ø ÇØÄ¿½ºÀâÀ¸·ÎºÎÅÍ Àΰ­À» Á¦°ø¹Þ¾Æ ÀÛ¼ºµÈ ÈıâÀÔ´Ï´Ù.
¡Ø ÇØ´ç Èıâ´Â ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+¹ÝµµÃ¼ ºý¼¾½ºÅ͵𸦠ÅëÇØ ¼öÁýµÈ ÈıâÀÔ´Ï´Ù.



ÇØ´ç °Ô½Ã±ÛÀÇ ÀúÀÛ±ÇÀº ÀÛ¼ºÀÚ¿Í ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷ »çÀÌÆ®¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷¿¡¼­ Á¦ÀÛÇÏ´Â ÀÚ·á µî¿¡ È°¿ë µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹«´Ü µµ¿ë ¹× ÆÛ°¡±â¸¦ ±ÝÁöÇÕ´Ï´Ù.
±Û¾²±â
¼ö°­Èıâ
¼±»ý´Ô Á¦¸ñ °­ÀǸ¸Á·µµ Á¶È¸¼ö
[ÀÎÀû¼º] ÇØÄ¿½º GSAT Àΰ­ ±è¼Ò¿ø¼±»ý´Ô, º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´Ô ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 6442
[ÀÎÀû¼º] ÇØÄ¿½º ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ ±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô& GSAT ±è¼Ò¿ø ¼±»ý´Ô ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 6516
[ÀÎÀû¼º] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT(±è¼Ò¿ø, º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´Ô) & ¹ÝµµÃ¼ ±³À°(±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô) Àΰ­ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 5702
[ÀÎÀû¼º] GSATÀΰ­ + ¹ÝµµÃ¼ ¸éÁ¢, ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ ±è¼Ò¿ø/±èµ¿¹Î/º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´ÔÀΰ­ ÃÖ°í! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 5611
[ÀÎÀû¼º] GSAT ¾ð¾îÃ߸®´Â º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´Ô ÃßõÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 6992
[ÀÎÀû¼º] GSAT¸¦ ÁغñÇÑ´Ù¸é ¼ö¸®³í¸®´Â ±è¼Ò¿ø½Ü ÃßõÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 5214
[ÀÎÀû¼º] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT(±è¼Ò¿ø, º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´Ô) & ¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« ±³À°(±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô) 2ÁÖÂ÷ Èıâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 6056
[ÀÎÀû¼º] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT(±è¼Ò¿ø, º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´Ô) & ¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« ±³À°(±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô) Èıâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 7167
[ÀÎÀû¼º] »ï¼º ´ëºñ GSAT ±è¼Ò¿ø ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ ±èµ¿¹Î ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 7703
[ÀÎÀû¼º] GSAT Àΰ­Àº ±è¼Ò¿ø, º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´Ô, ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­Àº ±èµ¿¹Î ¼±»ý´ÔÀ» ÃßõÇÕ´Ï´Ù. ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 7695
[ÀÎÀû¼º] ¹ÝµµÃ¼ ä¿ë Áغñ , GSAT µ¶ÇÐÀº ±è¼Ò¿ø ¼±»ý´Ô Àΰ­ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 7373
[ÀÎÀû¼º] <ºý¼¾½ºÅ͵ð 1±â 2ÁÖ 4ÀÏÂ÷ - º¹ÁöÈÆ, ±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô> ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 6188
[ÀÎÀû¼º] GSAT µ¶ÇÐ & ¹ÝµµÃ¼ 8´ë°øÁ¤- ±è¼Ò¿ø&±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 7059
[ÀÎÀû¼º] ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ Áغñ ¹× GSAT µ¶ÇÐ °øºÎ´Â ±è¼Ò¿ø/±èµ¿¹Î/º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´Ôµé°ú ÇÔ²²¶ó¸é ¹«¼·Áö ¾Ê¾Æ¿ä~!!! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 6609
ÃÖ¼öÁö [ÀÎÀû¼º] [ÇØÆ÷ÅÍÁî2±â] ¾îÈÖ·Â Çâ»ó ÃÖ¼öÁö½Ü ±»! º°Á¡ 6611
º¹ÁöÈÆ, ÃÖ¼öÁö [ÀÎÀû¼º] [ÇØÆ÷ÅÍÁî 2±â] ¾î·ÆÁö¸¸ ÇØÄ¿½º·Î À̰ܳ»±â º°Á¡ 5475
º¹ÁöÈÆ,ÃÖ¼öÁö [ÀÎÀû¼º] [ÇØÆ÷ÅÍÁî 2±â] ÇÇÇÒ ¼ö ¾øÀ¸¸é Áñ±âÀÚ º°Á¡ 8060
[ÀÎÀû¼º] [5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT, ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­(±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô) µè°í »ï¼º °¡Áî¾Æ. º°Á¡ 4288
[ÀÎÀû¼º] [4ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT, ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­(±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô) µè°í »ï¼º °¡Áî¾Æ. º°Á¡ 3645
[ÀÎÀû¼º] [3ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT, ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­(±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô) µè°í »ï¼º °¡Áî¾Æ. º°Á¡ 4403