4ÀÏÂ÷ ºÎÅÍ ÀüÀÚ, Àü±â, Àç·á Àü°øÀÇ ¸éÁ¢°ü·Ã °ÀÇÀÎ ±èµ¿¹Î ¼±»ý´ÔÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °ÀǸ¦ ¼ö°ÇÏ¸é¼ ±â°è°úÀÎ Àú´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ °øÁ¤ °ü·Ã ÀÌ·Ð ¿Ü¿¡´Â óÀ½À̾ú½À´Ï´Ù. ±×·¸±â ¶§¹®¿¡ ÀÌÇØÇϴµ¥ ÀÖ¾î¼ ½Ã°£ÀÌ ´õ °É·ÈÀ¸¸ç, ¼±»ý´Ô²²¼ ¸»¾¸ÇϽô ´ëºÎºÐÀ» ¿Å°Ü ÀûÀ¸¸ç °ÀÇ¿¡ Âü¿©ÇÏ¿© ½Ã°£À» Á¶±Ý ´õ ½è½À´Ï´Ù. ¿À´Ãµµ ¸¶Âù°¡Áö·Î ¼¼ºÎÀûÀÎ ºÎºÐ¿¡ ´ëÇؼ ÁøÇàÇÏ´Ù º¸´Ï ªÀº ½Ã°£µ¿¾È »ý¼ÒÇÑ ¿ë¾îµéÀ» ÀÌÇØÇÏ´Â °Í ºÎÅÍ °úÁ¤µéÀ» ÀÌÇØÇØ¾ß Çß½À´Ï´Ù. ±×·¯ÇÏ¿© óÀ½ °úÁ¤À» ĸÃÄÇÏ°Ô µÇ¾úÀ¸¸ç, ´õ ¸¹Àº Áö½ÄÀÌ µÞ¹Þħ µÇ¾î¾ß ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í »ý°¢Çß½À´Ï´Ù. ±×·¡¼ ±×·¯ÇÑ ¼ö¾÷³»¿ëÀ» Àû°Ú½À´Ï´Ù.
HKMG(High-k Metal Gate)ÀÇ µµÀÔ ¹è°æÀº °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¿¡ µû¶ó OxideÀÇ µÎ²²°¡ °¨¼ÒÇß°í OxideÀÇ Capacitance°¡ À¯Áö( C=A/d) ±×¸®°í OxideÀÇ µÎ²²°¡ °¨¼ÒÇÏ¿© Tunneling, Leakage current µÇ¾ú´Ù. ÈÄ µÎ²², Capacitance¸¦ ¸¸Á·ÇÏ´Â »õ·Î¿î ¹°ÁúÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÏ¿© HKMG°¡ °³¹ßµÇ¾ú´Ù. ÀÌ ¹°ÁúÀÇ Á¶°ÇÀº ¿Àû ¾ÈÁ¤¼º Áï, Si¿Í °í¿Â¿¡¼ ¹ÝÀÀÇÏ¸é ¾ÈµÆ°í, High band gap energy, ÀüÇÏ¿¡ µû¸¥ ¼º´É ÀúÇÏ°¡ À¯¹ß °¡´ÉÇÑ ÀûÀº °áÇÔÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ±×·¡¼ High-k ¹°ÁúÀº Hfo2, Zro2°¡ ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í °°Àº À̷еéÀ» ¹Ýº¹ ÇнÀÇÏ¿© ´ÙÀ½ÁÖ °Àǵµ ºÎÁ·ÇÔ ¾øÀÌ Âü¿©ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
GSAT Ã߸® ¿µ¿ªÀÇ µÎ¹ø° °ÀǸ¦ µè°í Àü¹ÝÀûÀÎ ±âÃʸ¦ ´ÙÁú ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. µ¶ÇÐÀ¸·Î´Â ºÒ°¡´ÉÇÑ ºÎºÐµéÀ» Áý¾îÁÖ½Ã¸é¼ ÀڽۨÀ» °¡Áú ¼ö ÀÖ°ÔµÈ ½Ã°£À̾ú°í Àç¹Ì¸¦ ÁÖ¾ú½À´Ï´Ù!
´ÙÀ½ÁÖµµ ¿½ÉÈ÷ Âü¿©ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
¡Ø ÇØÄ¿½ºÀâÀ¸·ÎºÎÅÍ ÀΰÀ» Á¦°ø¹Þ¾Æ ÀÛ¼ºµÈ ÈıâÀÔ´Ï´Ù.
¡Ø ÇØ´ç Èıâ´Â ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+¹ÝµµÃ¼ ºý¼¾½ºÅ͵𸦠ÅëÇØ ¼öÁýµÈ ÈıâÀÔ´Ï´Ù.