✍ GSAT Àΰ or GSAT ±³À縦 ¼ö°ÇÏ¸é¼ µµ¿òÀÌ µÇ¾ú´ø Á¡ ÀÛ¼º ÇØÁÖ¼¼¿ä
¡æ GSAT ÀΰÀ» µéÀ¸¸ç ½ÇÁ¦ ¸ðÀÇ°í»ç¸¦ Ç®°í Çؼ³À» ÇØÁּ̽À´Ï´Ù.
¾ð¾îÃ߸®¸¦ Ç® ¶§ ¸ðµç °æ¿ìÀÇ ¼ö ¸¦ Â÷±ÙÂ÷±Ù Çؼ®ÇÏ°í Á¤¸®ÇÑ ÈÄ¿¡ ¹®Á¦¸¦ Ç®¾î¾ß ÇÑ´Ù°í ¹è¿ü½À´Ï´Ù.
¾ÕÀ¸·Î´Â °æ¿ìÀÇ ¼ö¸¦ ¸ðµÎ Á¤¸®ÇÑ ÈÄ¿¡ º¸±â¸¦ ÀÐÀ¸¸ç Á¤È®ÇÏ°Ô Çª´Â ¿¬½ÀÀ» ÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
✍ ¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« ÀΰÀ» ¼ö°ÇÏ¸é¼ µµ¿òÀÌ µÇ¾ú´ø Á¡À» ÀÛ¼º ÇØÁÖ¼¼¿ä
¡æ Á¦°¡ °¡Àå °ü½ÉÀÖ´Â °øÁ¤À̶ó ´õ ¿½ÉÈ÷ µè°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
Etch´Â ÃÖ±Ù ¹Ì¼¼È °øÁ¤ÀÌ µÇ¾î anisotropy ÇÑ °ÍÀÌ ¸Å¿ì Áß¿äÇÔ¿¡ µû¶ó dry etch°¡ ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
RIE¶ó´Â ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ¹Ì¼¼È¿¡ ¸¹Àº µµ¿òÀÌ µÈ´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
✍ ¾ÕÀ¸·Î GSAT µ¶ÇÐ Àü·« or Ãë¾÷ °èȹ¿¡ ´ëÇØ ÀÛ¼ºÇØÁÖ¼¼¿ä (ex. ÇϹݱ⠻Z Ãë¾÷ Ç÷£ / ÇϹݱ⠹ݵµÃ¼ Ãë¾÷ Ç÷£ µî..)
¡æ GSAT ½ÇÁ¦ ¹®Á¦µéÀ» ¸¹ÀÌ Ç®¾îº¸¸ç Àú ¸¸ÀÇ Ç®ÀÌ ¹æ¹ýÀ» Å͵æÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
³²Àº±â°£ µ¿¾È ¿½ÉÈ÷ ÁغñÇؼ ²À À̹ø ÇϹݱ⠰øä ÇÕ°ÝÇÏ°Ú½À´Ï´Ù!!!
✍ ÇØÄ¿½º ±è¼Ò¿ø/ ÇØÄ¿½º º¹ÁöÈÆ / ÇØÄ¿½º ±èµ¿¹Î ¼±»ý´ÔÀÇ GSAT °ÀÇ+¹ÝµµÃ¼ Àΰ¿¡¼ µµ¿òÀÌ µÇ¾ú´ø Á¡À» ÀÛ¼ºÇØÁÖ¼¼¿ä
¡æ GSAT°ÀǸ¦ µéÀ¸¸ç ½Ã°£´ÜÃà À¯Çü¿¡ ´ëÇÏ¿© ¾Ë°Ô µÇ¾ú°í, Ç®ÀÌ ÆÁÀ» ½ÀµæÇÒ ¼ö ÀÖ¾î¼ ¸Å¿ì ÁÁ¾Ò½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ, Á÷¹«°ÀÇ¿¡¼´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ´ëÇÏ¿© ÁÖ¿äÀÎÀÚ ºÎºÐ±îÁöµµ ¼¼¼¼È÷ ¼³¸íÇØ Áּż µµ¿òÀÌ ¸¹ÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
°ÀǵéÀº °ÍÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ´õ ¿½ÉÈ÷ °øºÎÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.